起源の場所: | 中国 |
ブランド名: | TYHJ |
証明: | ISO Certificate |
モデル番号: | NF3 |
最小注文数量: | 版 200 本 |
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価格: | negotiable |
パッケージの詳細: | 1. 20Kg NF3の液体で満ちる44Ltrシリンダー。2. 200Kg NF3の液体で満ちる440Lシリンダー。 |
受渡し時間: | 沈殿物のレシートの後の15-30仕事日 |
支払条件: | L/C、T/T、D/A、D/P、ウェスタン・ユニオン |
供給の能力: | 1 ヶ月あたりの 10000KG |
CAS番号: | 7783-54-2 | EINECSに第: | 232-007-1 |
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国連いいえ。: | UN2451 | 純度: | 99.995% |
点のクラス: | 2.2 | 外観: | 無色 |
ハイライト: | advanced specialty gases,purity plus specialty gases |
三フッ化窒素NF3ガス、シリコンウェーハのプラズマエッチング用特殊ガス無色
三フッ化窒素は、式NF3を有する無機化合物である。 この窒素フッ素化合物は、無色、無臭、不燃性ガスです。 これは、マイクロエレクトロニクスにおけるエッチャントとしての使用が増加していることを見出している。 三フッ化窒素は非常に強い温室効果ガスです。
仕様
CAS番号:7783-54-2
EINECS番号:232-007-1
国連番号:UN2451
純度:99.995%
ドットクラス:2.2
外観:無色
グレードスタンダード:エレクトロングレード
仕様 | 99.995%以上 |
CF4 | ≤40ppm |
N2 | ≦5 ppm |
O2 + Ar | ≦5 ppm |
CO | ≦5 ppm |
CO2 | / |
N2O | / |
SF6 | ≤2ppm |
H2O | ≦1 ppm |
HF | ≦1 ppm |
典型的なアプリケーション
エッチング:
窒素トリフルオリドはシリコンウェーハのプラズマエッチングに使用されます。
包装&配送
小包のサイズ | 44Ltrシリンダー | 440Ltrシリンダー | ISOタンク |
充填重量/重量 | 20Kgs | 200Kgs | / |
20'Containerに読み込まれたQTY | 200 Cyls | 20個のCyls | |
総正味重量 | 4トン | 4トン | |
シリンダー風袋質量 | 50Kgs | 240Kgs | |
バルブ | CGA / DISS640 |
コンタクトパーソン: Millet